至于   zhì yú （动）表示达到某种程度：他总不～不来吧？
终于   zhōng yú （副）到底，表示经过种种变化或等待之后出现的情况：他～来了。［近］毕竟。
直到   zhí dào 径直抵达。
等到   děng dào （连）表示时间条件：～我写完作业，他已经走了。

至 于 终 直 到 等